VG 系列真空發(fā)生器
驅(qū)動(dòng)氣體壓力： 70 ～ 120psig｜可達(dá)真空度： -82Kpag｜材質(zhì):316L｜工作溫度-10℃~60℃
產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹
VG 系列真空發(fā)生器，在吹掃過(guò)程中引入真空，顯著改善吹掃和工藝氣體的稀釋效果。
產(chǎn)品特點(diǎn)
清洗、組裝、測(cè)試和包裝在10級(jí)潔凈間完成
超純水清洗
內(nèi)部粗糙度 Ra ≤ 0.25µm
外漏率低于 1×10-10Pa.m3 /Sec.He
工作條件
驅(qū)動(dòng)氣體壓力 70 ～ 120psig
可達(dá)真空度 -82Kpag
工作溫度 -10 ～ 60℃
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.25μm
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2024-11-21
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