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產(chǎn)品信息

產(chǎn)品介紹
前驅(qū)體源瓶用于固態(tài)、液態(tài)及氣態(tài)超純物料類(lèi)的封裝,涉及微正壓、常壓、中低壓的危險(xiǎn)化學(xué)品,對(duì)源瓶的安全性和潔凈度提出嚴(yán)苛的要求。
主要部件材料

閥體                      316L /316L(VIM+VAR)

瓶體                      316L

工作條件

工作壓力                0.8Mpa

內(nèi)漏率                    ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He

外漏率                    ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He

工作溫度                0 ~ 150℃

內(nèi)表面粗糙度          Ra ≤ 0.2μm

產(chǎn)品特點(diǎn)

超純物料類(lèi)的封裝

涉及微正壓、常壓、中低壓

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關(guān)鍵詞:

氣體管閥件


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