產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹
前驅(qū)體源瓶用于固態(tài)、液態(tài)及氣態(tài)超純物料類(lèi)的封裝,涉及微正壓、常壓、中低壓的危險(xiǎn)化學(xué)品,對(duì)源瓶的安全性和潔凈度提出嚴(yán)苛的要求。
主要部件材料
閥體 316L /316L(VIM+VAR)
瓶體 316L
工作條件
工作壓力 0.8Mpa
內(nèi)漏率 ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He
工作溫度 0 ~ 150℃
內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.2μm
產(chǎn)品特點(diǎn)
超純物料類(lèi)的封裝
涉及微正壓、常壓、中低壓
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關(guān)鍵詞:
氣體管閥件
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