MGDS氣體減壓器Um-1L
進口壓力:250psig 出口壓力：10,30,60,100psig ｜ 材質:316L(VIM+VAR) | 工作溫度:-40℃~60℃
產品信息
產品介紹
Um-1L 氣體減壓器，膜片式硬密封結構，超低漏率；適用于超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體，滿足一體化氣體分配系統(tǒng)的使用。具有卓越的重復性，穩(wěn)定性，靈敏度和非凡的響應階躍功能變化。
主要部件材料
閥體 316L（VIM+VAR）
膜片 UNS N10276
閥針 316L / UNS N10276
密封墊 PCTFE / PI
手柄 6063
閥蓋 316L
工作條件
進口壓力 250psig
出口壓力 10,30,60,100psig
原壓變動 0.3psig / 20psig
流量系數(shù) 0.06/0.15HF
工作溫度 -40 ～ 60℃
內漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
內表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
產品特點
適用于一體化氣體分配系統(tǒng)
每臺減壓器進行單獨的壓力測試、功能測試、氦質譜泄漏測試和顆粒物檢測
卓越的重復性，穩(wěn)定性，靈敏度和非凡的響應階躍功能變化
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2024-11-21
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中科艾爾
中科艾爾（北京）科技有限公司[原泰科愛爾（北京）科技有限公司]是專業(yè)研發(fā)、生產氣體管閥件的廠家。
