產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹 |
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| Xα-1B氣體減壓器。單級膜片式設(shè)計，硬密封結(jié)構(gòu)，內(nèi)部電解拋光處 理；低壓輸入，低壓中等流量輸出，輸出壓力穩(wěn)定；適用于半導(dǎo)體級高純氣體、毒 性、腐 蝕性、易燃 易爆氣體等。 | |
主要部件材料 |
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| 閥體 | 316L/316L（VIM+VAR） |
| 膜片 | UNS N06022 |
| 閥針 | 316L / UNS N10276 |
| 密封墊 | PCTFE / PI |
| 手柄 | ABS |
| 閥蓋 | 316L |
工作條件 |
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| 進口壓力 | 300psig |
| 出口壓力 | 30,60,100,150psig |
| 原壓變動 | 5psig / 100psig |
| 工作溫度 | -10 ～ 60℃ |
| 內(nèi)漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 外漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 流量系數(shù) | 0.9 |
| 內(nèi)表面粗糙度 | Ra ≤ 0.1μm |
產(chǎn)品特點 |
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| 適用于BSGS | |
| 提供 UNS N06022/UNS N10276 內(nèi)部件選項 | |
| 每臺減壓器進行單獨的壓力測試、功能測試、氦質(zhì)譜泄漏測試和顆粒物檢測 | |
| 膜片與閥體之間采用金屬對金屬密封設(shè)計，密封性能極好 | |
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2024-11-21
關(guān)鍵詞：
氣體管閥件
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